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小型棒狀線性伺服馬達
馬達寬度20mm內置直線編碼器及直線導軌的一體化機型 最大推力為50N 瞬間最大加速度為416 m/s² 磁相互作用的最小化
適合用於半導體製造設備、檢測設備、裝配設備、透鏡貼裝機、FPC 焊接機